Verbesserte Beschichtung von Mikrostrukturen mit Ultraschall

Projektleitung:Prof. Dr.-Ing. habil. Antonio Delgado
Förderer:
Atotech Deutschland GmbH
Stichwörter:Akustische Kavitation, Beschichten, Microstreaming, Ultra-Hochgeschwindigkeits-Strömung Visualisierung
Laufzeit:1.6.2010 - 31.5.2013
Inhalt und Ziele:Die Verwendung von Ultraschall stellt einen innovativen Schritt im Bereich der Beschichtung von Leiterplatten mit Mikrostrukturen dar. Das beantragte Forschungsvorhaben zielt darauf ab, die fehlenden Grundlagen zum industriellen Einsatz der Ultraschalltechnik bei der Beschichtung von extrem dünnen Schaltkreisen zu erarbeiten. Dies geschieht durch detailliere Untersuchung der gekoppelten Effekte zwischen den vom Ultraschallfeld induzierten Strömungseffekten und dem Schichtbildungsprozess.
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